강의계획서
| 교과목코드 | JEF02445 | 교과목명 | 고집적박막공정 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 화공신소재공학부 신소재공학전공 | 교수 | 김동훈 |
| 교수소속 | 화공신소재공학부 신소재공학전공 | 이수학년 | 4학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | dhkim@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 강의 소개, 박막 기초 |
| 2주차 | 표면 에너지, 0차원 나노구조체 : 나노입자-균일핵생성 |
| 3주차 | 0차원 나노구조체 : 나노입자 합성 |
| 4주차 | 1차원 나노구조체 : 나노선 및 나노막대 |
| 5주차 | 박막기초, 박막 성장의 기본, 박막의 미세구조 |
| 6주차 | 진공, 물리기상 증착법 |
| 7주차 | 플라즈마, 스퍼터링 1 |
| 8주차 | 중간고사 |
| 9주차 | 스퍼터링 2 |
| 10주차 | 화학기상증착법, ALD |
| 11주차 | 졸겔법, 박막의 응용 |
| 12주차 | 박막의 기계적, 전기적, 광학적 특성 |
| 13주차 | 박막소재의 특성 분석법-XRD,SEM TEM, |
| 14주차 | 박막소재의 특성 분석법-분광학 |
| 15주차 | 기말고사 |
| 16주차 |